先看材料、线宽、深宽比、面积和容差,判断需求是否落在合理工艺窗口里。
我先看什么
结构目标、材料体系、尺寸窗口、验收方式
不是设备目录,也不是公司简介。
这是我用来接收项目、解释工艺、沉淀判断的个人主页。
我更关心项目能不能顺利做出来。
很多微纳加工项目卡住,不是因为没人会加工,而是需求、版图、材料、工艺窗口和检测标准没有在一开始讲清楚。我做的事,是把客户想要的结构整理成加工方能报价、能排产、能验收的技术输入。
当前重点关注电子束曝光、DUV、深硅刻蚀、薄膜沉积、Lift-off、超表面/超透镜、光电子器件和 SEM 表征。
我通常按三个问题判断。
再拆曝光、刻蚀、镀膜、清洗和检测步骤,尽量减少返工和沟通损耗。
最后把 SEM、尺寸偏差、形貌、电学或光学测试说清楚,避免交付时各说各话。
超表面
关注周期、柱径、深宽比、侧壁形貌和光学目标。
深硅刻蚀
关注深度、侧壁角度、底部形貌和尺寸一致性。
样品验证
用图像和测试结果复盘下一轮版图或工艺调整。
适合找我的几种情况。
你不需要一开始就把所有参数准备完。先把项目轮廓发来,我会帮你判断下一步应该补什么。
想做一个微纳结构样品
但还不确定材料、尺寸、公差、版图格式和工艺路线是否合理。
需要和加工平台沟通
把课题语言、产品语言转成工艺输入,减少反复解释和漏项。
拿到 SEM 图后看不明白
一起看尺寸、塌陷、残胶、粗糙度和侧壁问题,判断下一轮怎么改。
需要整理成对外材料
把项目能力、案例、服务范围整理成客户能理解的网页、文章或介绍页。
后面我会把这些问题写清楚。
这里会逐步沉淀成微纳加工项目笔记,不只展示结果,也写判断过程。
做超表面样品前,客户需要准备哪些参数?
电子束曝光和 DUV 应该怎么选?
一张 SEM 图里,哪些问题最值得先看?
先发一段项目轮廓就可以。
建议包含材料、结构尺寸、版图、样品尺寸、数量、周期,以及是否需要 SEM、电学或光学测试。