Semiconductor micro/nano fabrication

孙嵩涵

我帮科研团队和早期项目,把微纳结构想法落到可验证的样品上。

洁净室微纳加工场景
我先看什么 结构目标、材料体系、尺寸窗口、验收方式

不是设备目录,也不是公司简介。

这是我用来接收项目、解释工艺、沉淀判断的个人主页。

我更关心项目能不能顺利做出来。

很多微纳加工项目卡住,不是因为没人会加工,而是需求、版图、材料、工艺窗口和检测标准没有在一开始讲清楚。我做的事,是把客户想要的结构整理成加工方能报价、能排产、能验收的技术输入。

当前重点关注电子束曝光、DUV、深硅刻蚀、薄膜沉积、Lift-off、超表面/超透镜、光电子器件和 SEM 表征。

洁净室设备与工艺现场
从问题描述到样品复盘,我更愿意先把边界问清楚。

我通常按三个问题判断。

能不能做

先看材料、线宽、深宽比、面积和容差,判断需求是否落在合理工艺窗口里。

怎么做更稳

再拆曝光、刻蚀、镀膜、清洗和检测步骤,尽量减少返工和沟通损耗。

怎么验收

最后把 SEM、尺寸偏差、形貌、电学或光学测试说清楚,避免交付时各说各话。

超表面纳米柱 SEM 图
超表面

关注周期、柱径、深宽比、侧壁形貌和光学目标。

深硅刻蚀沟槽 SEM 图
深硅刻蚀

关注深度、侧壁角度、底部形貌和尺寸一致性。

器件截面 SEM 图
样品验证

用图像和测试结果复盘下一轮版图或工艺调整。

适合找我的几种情况。

你不需要一开始就把所有参数准备完。先把项目轮廓发来,我会帮你判断下一步应该补什么。

想做一个微纳结构样品

但还不确定材料、尺寸、公差、版图格式和工艺路线是否合理。

需要和加工平台沟通

把课题语言、产品语言转成工艺输入,减少反复解释和漏项。

拿到 SEM 图后看不明白

一起看尺寸、塌陷、残胶、粗糙度和侧壁问题,判断下一轮怎么改。

需要整理成对外材料

把项目能力、案例、服务范围整理成客户能理解的网页、文章或介绍页。

后面我会把这些问题写清楚。

这里会逐步沉淀成微纳加工项目笔记,不只展示结果,也写判断过程。

做超表面样品前,客户需要准备哪些参数?

电子束曝光和 DUV 应该怎么选?

一张 SEM 图里,哪些问题最值得先看?

先发一段项目轮廓就可以。

建议包含材料、结构尺寸、版图、样品尺寸、数量、周期,以及是否需要 SEM、电学或光学测试。